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Layertec 飛秒激光光學元件

簡要描述:Layertec 飛秒激光光學元件
飛秒激光光學系統的涂層通常針對特殊的反射率,透射率和GDD光譜進行優化。對于大多數應用而言,此類涂層的激光誘導損傷閾值(LIDT)不太重要。

  • 產品品牌:其他品牌
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2021-05-07
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品牌其他品牌價格區間面議
組件類別光學元件應用領域醫療衛生,環保,化工,電子,綜合

Layertec 飛秒激光光學元件

大功率飛秒激光光學

飛秒激光光學系統的涂層通常針對特殊的反射率,透射率和GDD光譜進行優化。對于大多數應用而言,此類涂層的激光誘導損傷閾值(LIDT)不太重要。盡管如此,高功率的fs激光器仍在研究之中,并且近年來fs激光器的輸出功率已大大提高(參見參考文獻1和其中的參考文獻)。因此,fs激光光學器件的LIDT變得越來越重要。LAYERTEC對fs和ps激光器的光學LIDT進行了詳細研究。如下表所示,我們發現標準光學,寬帶光學和超寬帶光學以及我們的高功率鏡的LIDT值存在很大差異。標準低GDD反射鏡的LIDT值為0.3J / cm2,而負GDD反射鏡,寬帶和超寬帶組件的LIDT約為0.1J / cm2。

我們的研究證明,飛秒激光光學器件的LIDT取決于涂層材料和涂層設計。標準低GDD組件和上述其他光學元件的LIDT值差異是由所使用的不同鍍膜設計導致的。尤其是寬帶和負GDD設計會導致較低的損壞閾值。只有標準的低GDD組件的設計才能達到更高的LIDT值。在所有這些情況下,均選擇具有高折射率對比度的材料以實現大帶寬。使用其他涂層材料可以實現更高的LIDT值。然而,由于這些折射率的對比度較低,因此由這些材料制成的反射鏡僅具有約80nm的帶寬。但是,該帶寬足以滿足低至150fs的脈沖長度的要求。所有大功率設計均針對GDD <20fs2進行了優化。

我們由于不同的材料組合和設計而區分了不同的高功率設計,這些材料組合和設計在制備涂層方面需要不同的努力,并且在機械性能方面也不同,例如層中的應力。這些涂層的光譜帶寬幾乎相同。一個示例如圖1所示。

還發現,LAYERTEC優化的銀鏡的LIDT值高于fs范圍內的標準組件。銀鏡之所以具有優勢,是因為其極寬的零GDD反射帶,在法向入射時的反射率高達98.5%。甚至具有規定透射率0.01%的銀鏡也顯示出比所有介電超寬帶組件更高的損傷閾值。有關銀鏡的更多信息,請參見此處。

1)E.Innerhofer,T.Südmeyer,F.Brunner,R.Häring,A.Aschwanden和R.Paschotta,C.Hönninger和M.Kumkar,U.Keller,“在810fs脈沖中,平均輸出功率為60W 薄盤Yb:YAG激光器”,《光學信函》第28卷,第5期,第367–369頁

*與漢諾威激光Zentrum和耶拿大學Friedrich-Schiller大學合作。大部分工作是在德國聯合項目PRIMUS的框架內完成的,該項目得到了聯邦技術與技術聯合會的支持。

 

介質大功率鏡


圖1:高功率fs激光鏡HR(0°,800nm)R> 99.9%的反射光譜

飛秒激光光學元件的激光誘導損傷閾值概述

Coating

reflectance

at 800 nm

LIDT [J/cm2]
*

50 fs

150 fs

1 ps

     

Bare gold

97.5 %

0.33

0.33

 

Fs-protected silver

98.5 %

0.38

0.38

 

Enhanced silver (800 nm)

99.7 %

 

0.37

 

Enhanced silver (600 – 1200 nm)

98.5 %

 

0.24

 

partially transparent silver (T(800 nm) = 0.01%)

98.5 %

 

0.22

 

Negative dispersion mirrors

> 99.9 %

 

 0.10

 

Broadband low GDD mirrors

> 99.9 %

 

 0.10

 

Standard low GDD mirrors

> 99.9 %

 

0.30

0.55

High power mirror type A

> 99.9 %

0.35

0.44

0.65

High power mirror type B

> 99.8 %

 

0.75

1.04

Single wavelength AR coating

< 0.2 %

  

1.20**

Broadband AR coating

< 0.5 %

  

1.20**

*測量條件:30000個脈沖,重復率1kHz,λ= 800nm; 測量是根據ISO 11254在Laser Zentrum Hannover和Friedrich-Schiller-UniversitätJena進行的

**自聚焦效果可能會在增透膜穩定的同時破壞基材

 

金屬大功率鏡



圖2:裸金和經fs優化的銀的反射光譜(針對800nm處的高反射率進行了優化)

 

大功率飛秒激光鏡的GDD



圖3:標準和大功率介電鏡以及受fs保護的銀鏡的群時延色散(GDD)

 

低損耗光學元件的反射率和透射率的測定

低損耗光學組件的反射率值R> 99%和透射率值T> 99%可以通過腔衰蕩時間測量非常精確地測量。與在光譜儀中進行測量相比,該方法具有三個主要優點:

Ø適用于非常高的反射率和透射率

Ø無法獲得比實際值高的測量值

Ø它具有很高的準確性


Basic CRD Measurement Setup

基本CRD測量設置



Layertec隨附各種腔衰蕩系統,通過這些系統可以穩定地控制光學組件的質量。 有關更多詳細信息,請參閱我們的目錄內容“低損耗光學器件和腔衰蕩時間測量簡介”。

您可以在此處下載我們的目錄。

相位優化的fs-Laser寬帶鏡-CRD測量示例



低損耗鏡 - CRD測量示例


 


轉向鏡 - 寬帶CRD測量示例



薄膜偏振片- CRD測量示例




 

超寬帶飛秒激光光學器件(帶寬?1個八度音程)

此處顯示的涂層是針對一個八度的波長(440 – 880 nm或550 – 1100 nm)計算的。對于中間波長范圍,類似的涂層也是可能的。

根據客戶要求,輸出耦合器和分束器的中心波長,帶寬,GDD和反射率

光譜公差為中心波長的1%

LIDT ∼ 0.1 J/cm2

內部設計計算和GDD測量功能

 

負色散激光鏡對

1:超寬帶負色散激光鏡對的反射率(a)和GDDb)光譜

AYERTEC設計的反射鏡對顯示出非常平滑的平均GDD頻譜,盡管單個寬帶反射鏡表現出強烈的GDD振蕩。

色散泵鏡對

2:超寬帶負色散泵浦反射鏡對的反射率(a)和GDDb)光譜

超寬帶負色散轉向鏡對

3:超寬帶轉向鏡對p偏振光的反射率(a)和GDDb)光譜

超寬帶輸出耦合器

4R = 85±3%的超寬帶輸出耦合器的反射率(a)和GDDb)光譜

超寬帶分束器

5Rp = 50±4%的p偏振光的超寬帶分束器的反射率(a)和GDDb)光譜

 

標準件


圖1:248nm轉向鏡(AOI = 45°)對隨機偏振光的反射和透射光譜

Ø氧化物涂層具有較高的機械穩定性和較低的雜散光損耗

Ø激光鏡(在248nm處為> 99%,在308nm和351nm處R> 99.5%)

Ø高品質的鏡面基板,熔融石英窗口片和鏡片

ØPR涂層的公差為

ر 2% for R = 10 ... 30%

ر 3% for R = 30 ... 75%

ر 2% for R = 75 ... 90% and

ر 1% for R > 90%

Ø開發和生產客戶特定的組件


圖2:可變衰減器在不同AOI下308nm處的透射光譜(a)和在308nm下AOI的透射率與AOI的透射率光譜圖(b); 透射率從AOI = 0°時的T> 85%變化到AOI = 45°時的T = 2±1%(非偏振光)

耐氟腔光學元件


圖3:氟化KrF激光鏡的反射光譜(a)和R = 50±3%的輸出耦合器(b)

Ø氟化物涂層和CaF2基材對氟和氯具有高穩定性

Ø激光鏡(在248nm和308nm時R> 98%,在351nm時R> 96%)

ØCaF2的高品質鏡面基板,窗戶和鏡片(肖特公司248nm受激準分子級或紫外線品質)

ØPR涂層的公差為:

ر 2% for R = 10 ... 30%

ر 3% for R = 30 ... 75% and

ر 2% for R=75 ... >90%

KrF,XeCl和XeF激光組件的技術參數

Coating

Materials

Reflectance

Damage threshold*

Lifetime test

HR (0°, 248nm)

oxides

> 99%

10 J/cm2, 1 - on - 1,20ns 5 J/cm2, 1000 - on - 1

 

HR (45°, 248nm)

oxides

> 99% (random pol.)

10 J/cm2, 1 - on - 1,20ns

 

HR (0°, 248nm)

fluorides

R > 98%

 

2x108 pulses**

PR (0°, 248nm)

fluorides

R = 50 ± 3%

 

2x108 pulses**

PR (0°, 248nm)

fluorides

R < 0.25%

 

2x108 pulses**

HR (0°, 308nm)

fluorides

R > 98%

 

2x108 pulses***

HR (0°, 351nm)

fluorides

R > 96%

 

2x108 pulses***

PR (0°, 351nm)

fluorides

R = 25 ± 3%

 

2x108 pulses***

*在Laser LaborGöttingen和Friedrich-SchillerUniversitätJena進行了測量

**能量密度:100mJ / cm 2, 速率:100Hz,脈沖持續時間:15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進行測試

***能量密度:55 mJ / cm2, 速率:100Hz,脈沖持續時間:15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進行測試

標準飛秒激光光學元件(帶寬約120 nm)

Ø此處顯示的涂層在600 nm至1000 nm的波長范圍內的帶寬為120 – 150 nm。

Ø鏡子反射率非常高(R> 99.9 ... 99.97%)

Ø光譜公差為中心波長的1%

Ø根據涂層設計,LIDT = 0.1 ... 0.3 J / cm2

Ø內部設計計算和GDD測量功能

Ø根據客戶要求定制中心波長,GDD和TOD

飛秒激光標準反射鏡


圖1:標準低色散飛秒激光鏡的反射率(a)和GDD(b)光譜


圖2:標準低色散車鏡的反射率(a)和GDD(b)光譜


圖3:標準低色散泵激光鏡的反射率(a)和GDD(b)光譜

負色散鏡


圖4:GDD = -40±10fs2的標準負色散反射鏡的反射率(a)和GDD(b)光譜

輸出耦合器和光束分離器


圖5:幾個標準輸出耦合器的反射率(a)和GDD(b)光譜(GDD光譜是針對R = 98%計算得出的,但在所有反射率上都是相似的)


圖6:幾個標準分束器的AOI = 45°和p偏振光的反射率(a)和GDD(b)光譜(計算出的GDD光譜的R = 50%,但在所有反射率下都相似)

Ø還提供用于s的光束分離器-偏振光

Ø輸出耦合器和分束器的反射率和透射率可根據客戶要求進行調整

Ø公差:

ØR =10 … 70 % ± 2.5 %

ØR = 70 … 90 % ± 1.5 %

ØR = 90 … 95 % ± 0.75 %

ØR = 95 … 98 % ± 0.5 %

ØR > 98% ± 0.25 %

Ø標準增透膜:

ØAOI = 0°: R < 0.2 %

ØAOI = 45°, s - pol: R s < 0.5 %;
p - pol: rear side uncoated, Rp < 0.6 %

Layertec 飛秒激光光學元件

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